技术与服务
技术规范
技术与服务
| 序号 | 特征 | 参数 | 测试方法 |
| 1 | 外延层掺杂剂 | Boron,Phophorus | |
| 2 | 外延层晶向 | <100>,<111> | |
| 3 | 外延片尺寸 | 4″，5″，6″，8″ | |
| 4 | 外延层电阻率 | 0.01~200 ohm-cm | ASTM F723 F1392 |
| 5 | 外延层厚度 | 0.5~150μm | ASTM F95 |
| 6 | 堆垛层错密度性 | ≤10/cm² | ASTM F1810 |
| 7 | 滑移线 | ≤5条，总长度＜1/2圆片直径 | ASTM F1725 F1726 |
| 8 | 雾、划伤、凹坑、桔皮、裂纹、鸦爪、崩边、异物、背面沾染 |
无 |
ASTM F523 |
| 9 | 冠状边缘 | 表面上凸起物高度不超过1/5外延层厚度 | |
| 10 | 点缺陷 | SEMI标准 | ASTM F523 |
| 序号 | 特征 | 参数 | 测试方法 |
| 1 | 外延层掺杂剂 | Boron,Phophorus | |
| 2 | 外延层晶向 | <100>,<111> | |
| 3 | 外延片尺寸 | 4″，5″，6″，8″ | |
| 4 | 外延层电阻率 | 0.01~200 ohm-cm | ASTM F723 F1392 |
| 5 | 外延层厚度 | 0.5~150μm | ASTM F95 |
| 6 | 堆垛层错密度性 | ≤10/cm² | ASTM F1810 |
| 7 | 滑移线 | ≤5条，总长度＜1/2圆片直径 | ASTM F1725 F1726 |
| 8 | 雾、划伤、凹坑、桔皮、裂纹、鸦爪、崩边、异物、背面沾染 |
无 |
ASTM F523 |
| 9 | 冠状边缘 | 表面上凸起物高度不超过1/5外延层厚度 | |
| 10 | 点缺陷 | SEMI标准 | ASTM F523 |
✔ 外延片厚度2~6um ,不均匀性＜±3%；
✔ 外延片翘曲＜30um；
✔ 外延片2DEG电子浓度＞8E12cm-²；
✔ 外延片电子迁移率＞1800 cm²/V.s;
✔ 外延片方块电阻＜350ohm/sq，不均匀性＜±3%
✔ 外延掺杂剂：N型和P型；
✔ 外延片尺寸：4 inch 、6 inch；
✔ 外 延 膜 厚：0.5~50um；
✔ 外 延 浓 度：1E14-1E19/cm3
